Giải pháp điều khiển tự động cho thiết bị sơn bán dẫn

Giải pháp điều khiển tự động cho thiết bị sơn bán dẫn

Hậu trường vụ án:
Trong ngành công nghiệp bán dẫn, các máy sơn là rất cần thiết trong quá trình photolithography, chịu trách nhiệm áp dụng photoresist hoặc các vật liệu chức năng khác lên các wafer hoặc nền.Sử dụng các phương pháp sơn xoắn hoặc sơn phun, những máy này tạo thành các tấm mỏng đồng nhất và ổn định để đảm bảo độ chính xác mô hình.và hệ thống định vị chính xác caoChúng thường có cánh tay tải / dỡ tự động và hệ thống kiểm soát phản hồi thời gian thực để tăng hiệu quả sản xuất và đảm bảo chất lượng lớp phủ nhất quán.

Giải pháp:

• Điều khiển chính:OMRON PLC

• Quy trình áp dụng:Lớp phủ

• Cấu hình I/O dự án:MTC-EEC-A-2-A16-L-10-08-S-D + MTC-200H-D*2

• Sử dụng hàng năm:1 triệu bộ

Trong dự án này, khách hàng tích hợp một OMRON PLC với các sản phẩm van MTC của Decowell để xây dựng một hệ thống điều khiển khí nén nhỏ gọn và hiệu quả cho thiết bị sơn.Các van điện lực đẩy xi lanh để điều khiển chính xác chuyển động dọc và ngang của vòi phun, đảm bảo độ cao và vị trí lớp phủ chính xác. Các xi lanh bổ sung điều khiển các cánh tay tải và thả tự động, vận chuyển chất nền giữa lớp phủ và hệ thống vận chuyển.

Hệ thống kết hợp các mô-đun I / O trong đảo van, cho phép kết nối dễ dàng các cảm biến vị trí và công tắc từ tính.Với kiến trúc mô-đun, hệ thống cung cấp khả năng mở rộng và linh hoạt tuyệt vời để đáp ứng các cấu hình thiết bị khác nhau.

Ưu điểm ứng dụng:

• Tích hợp cao làm giảm dây dẫn và tiết kiệm không gian bảng điều khiển

• Các mô-đun I/O có thể mở rộng để nâng cấp hệ thống trong tương lai

• Điều khiển chuyển động chính xác cho vòi phun và tay xử lý

• Hiệu suất ổn định, hiệu quả phù hợp với sản xuất khối lượng lớn