Tăng hiệu quả làm sạch wafer với Decowell RB Series Remote I / O Modules

Ngôi trường công nghiệp
Trong sản xuất chất bán dẫn, các tấm silic phải trải qua một loạt các quy trình chính xác như cắt lát, nghiền cạnh, vắt, xử lý bề mặt, đánh bóng và tăng trưởng biểu trục.Những bước này chắc chắn để lại bề mặt wafer bị ô nhiễm với các hạt, ion kim loại và dư lượng hữu cơ. Giai đoạn làm sạch wafer đóng một vai trò quan trọng trong việc loại bỏ các tạp chất này để đảm bảo năng suất và độ tin cậy của các sản phẩm cuối cùng.Quá trình này đòi hỏi không chỉ độ chính xác mà còn ổn định và kiểm soát thông minh để giảm thiểu tổn thất sản xuất và rủi ro nhiễm trùng.

Tổng quan dự án
Để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của việc làm sạch wafer hiện đại, dự án tích hợp mộtOmron PLC là bộ điều khiển chính, kết hợp với một tùy chỉnhCấu hình I/Ovới DecowellCác mô-đun I/O từ xa dòng RB. Các thiết lập bao gồm:

• 3× RB-1110 Bus Couplers

• Các mô-đun 3×16DI

• 3 × 16DO Module

• 1 × Analog Input Module (AI)

• 1 × Analog Output Module (AO)

Cấu hình này cho phép thu thập và kiểm soát dữ liệu theo thời gian thực trên các thông số làm sạch quan trọng, bao gồm tình trạng hoạt động của thiết bị, áp suất chất lỏng và nồng độ hóa chất.

Dòng Decowell RB: Gắn, hiệu quả và đáng tin cậy
Các Decowell RB Series Remote I / O Module được thiết kế để đáp ứng các nhu cầu hiệu suất cao của kiểm soát quy trình tự động.yếu tố hình dạng siêu mỏngvàThiết kế thân thiện với đường sắt DINcho phép triển khai nhanh chóng, ngay cả trong tủ điện không gian hạn chế.giám sát thời gian thực và chẩn đoán từ xacủa hệ thống làm sạch, giúp các kỹ thuật viên xác định các bất thường như áp suất không ổn định hoặc liều lượng không đúng mà không cần kiểm tra tại chỗ.

Khả năng hiển thị thời gian thực về tình trạng hệ thống đảm bảo phản ứng nhanh chóng với các sai lệch, giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động và giúp duy trì hiệu suất làm sạch tối ưu trên mỗi lô wafer.kiến trúc mô-đun của RB Series hỗ trợmở rộng linh hoạt, cho phép các nhà sản xuất điều chỉnh quy mô I / O cho các dòng sản xuất khác nhau và nâng cấp trong tương lai.

Tác động của ứng dụng
Với khối lượng sử dụng hàng năm vượt quá100,000 đơn vị, Decowell RB Series đã chứng minh mình là mộtmạnh mẽ, có thể mở rộng và hiệu quả về chi phíCác khách hàng báo cáo tăng độ minh bạch của quy trình, cải thiện việc sử dụng thiết bị và giảm thời gian bảo trì.Sự tích hợp cũng hỗ trợ kết nối cấp cao hơn, cho phép giao tiếp trơn tru với các hệ thống SCADA hoặc MES để xây dựng một cơ sở hạ tầng nhà máy thực sự thông minh.

Kết luận
Trong các ngành công nghiệp chính xác như sản xuất bán dẫn, phần cứng tự động hóa phải cung cấp cả độ tin cậy và linh hoạt.Giải pháp I / O từ xa Decowell RB Series không chỉ đáp ứng các yêu cầu kỹ thuật của các quy trình làm sạch miếng mềm phức tạp mà còn tăng cường tích hợp hệ thống, khả năng mở rộng và khả năng duy trì lâu dài làm cho nó trở thành một lựa chọn đáng tin cậy cho sản xuất thông minh thế hệ tiếp theo.