Bối cảnh ứng dụng:
Máy phân loại wafer là một thiết bị quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, được sử dụng để tự động phân loại và phân loại wafer theo các tiêu chuẩn chất lượng được xác định trước. Nó đánh giá wafer dựa trên kiểm tra trực quan, kết quả kiểm tra điện và các tiêu chí khác, sau đó tự động tách các wafer tốt ra khỏi phần còn lại. Hệ thống thường tích hợp một bộ phận kiểm tra thị giác tiên tiến và xử lý vật liệu tự động, đảm bảo độ chính xác kiểm tra cao và thông lượng cao cùng một lúc. Máy phân loại wafer được sử dụng rộng rãi trong các dây chuyền sản xuất IC, quang điện tử và các linh kiện điện tử khác, giúp tăng cường tự động hóa, giảm sai sót của con người và duy trì chất lượng và độ tin cậy của sản phẩm cuối cùng.

Tổng quan giải pháp:

• Bộ điều khiển chính: Siemens PLC

• Phân đoạn quy trình: Phân loại và phân loại wafer

• Cấu hình I/O dự án: 3RS-PN2 + 916DI + 916DO + 18AI

• Mức sử dụng hàng năm: Khoảng 300.000 điểm I/O

Mô tả dự án:
Dự án này sử dụng PLC Siemens S7-1200 làm bộ điều khiển cốt lõi, kết hợp với nhiều mô-đun I/O để tạo thành một hệ thống điều khiển phân loại wafer hiệu quả và đáng tin cậy. PLC nhận tín hiệu từ nhiều cảm biến hiện trường khác nhau, bao gồm cảm biến quang điện, cảm biến dịch chuyển, cảm biến nhiệt độ và kết quả quyết định từ hệ thống kiểm tra thị giác, để theo dõi chất lượng bề mặt wafer và điều kiện môi trường trong thời gian thực. Dựa trên dữ liệu này, PLC điều khiển chính xác các thiết bị quét laser, robot chuyển và bộ truyền động phân loại, đạt được kiểm tra tốc độ cao, phân loại tự động và dỡ hàng chính xác.

Thông qua hệ thống giám sát và điều khiển thông minh này, máy phân loại wafer cải thiện đáng kể hiệu quả phân loại đồng thời đảm bảo độ chính xác và khả năng lặp lại của kết quả kiểm tra, cung cấp sự hỗ trợ mạnh mẽ cho sản xuất hàng loạt ổn định.

Ưu điểm ứng dụng:

• Hỗ trợ nhiều kích thước wafer và định dạng khay, cung cấp các tùy chọn bảng điều khiển linh hoạt;

• Sự kết hợp I/O dạng mô-đun cho phép mở rộng dễ dàng theo nhu cầu của dây chuyền và trạm;

• Kiểm tra độ chính xác cao và phân loại ổn định làm giảm sự can thiệp thủ công và các khuyết tật bị bỏ sót;

• Quản lý PLC tập trung cho phép kiểm soát quy trình dựa trên công thức và ghi nhật ký dữ liệu lịch sử để truy xuất nguồn gốc chất lượng đầy đủ.